Dotierung
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Eine Dotierung oder das Dotieren (v. lat.: dotare ausstatten) ist - die Festlegung einer bestimmten Geldsumme als Entgelt oder bei einer Preisverleihung
- in der Elektronik bei der Chipherstellung das Einbringen (Implantation) von Fremdatomen in Schicht oder ins Grundmaterial eines elektronischen Bauteiles oder eines integrierten Schaltkreises und zwar in sehr geringer Konzentration ca. 10 -10 ). Dies verändert gezielt die Eigenschaften dieser meistens die Leitfähigkeit oder die Kristallstruktur . Es gibt hierfür verschiedene Verfahren z.B. Diffusion Sublimation aus der Gasphase oder Beschuss mittels Teilchenkanonen unter Vakuum ( Ionenimplantation ). Die Wirkungsweise der Dotierung kann im Bändermodell erklärt werden.
Typische Dotierstoffe für Silizium -Schichten sind: und seit neustem auch
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