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Ionenimplanter


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Ionenimplanter sind Maschinen die Wafer aus Silizium bearbeiten. Alle Ionenimplanter besitzen eine Ionenquelle Masse- und Energietrennung der Ionen sowie eine zur Handhabung der Wafer.

Als Dotanten dienen folgende Elemente :

ferner auch:

Diese Elemente werden oft nicht in elementaren Form sondern gebunden in gasförmiger oder Form (Pulver) eingesetzt:

In der Ionenquelle wird das Gas und mit einer Hochspannung beschleuningt. Magnete nehmen eine Massetrennung vor.

Man unterscheidet drei Grundtypen von Implantern:

  • Mittelstromimplanter
  • Hochstromimplanter
  • Hochenergieimplanter

Weiterhin kann man Implanter nach ihrem einteilen

  • Batchmaschinen (es werden mehrer Wafer gleichzeitig
  • Single-Wafer-Maschinen (die Wafer werden nacheinander bearbeitet)



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