Die Geschichte des Regierungsbezirks geht bis das Jahr 1815 zurück. Damals teilte Preußen nach dem Wiener Kongress seine Provinzen in insgesamt 25 Regierungsbezirke ein u.a. somit auch der Regierungsbezirk Arnsberg.
Einige der Landkreise bestehen bis heute Verwaltungsgliederung heute). Sie hatten damals jedoch noch anderen Zuschnitt. Die Stadtkreise Castrop-Rauxel Iserlohn Lüdenscheid Lünen Siegen und Witten wurden bei der Kreisreform 1975 mit den umliegenden Landkreisen vereinigt. Stadtkreis Wanne-Eickel wurde mit dem Stadtkreis Herne Stadtkreis Wattenscheid mit dem Stadtkreis Bochum vereinigt.