Einführung in die Mikrosystemtechnik. Grundlagen und Praxisbeispiele.
Kurzbeschreibung Mikrosystemtechnik trägt dem Bedarf an fundiertem Fachwissen dieser künftigen Schlüsseltechnologie Rechnung. Als Lehrbuch konzipiert, erschließt es dem Leser Grundlagen und Anwendungen komplexer Mikrosysteme, in denen elektronische, mechanische und optische Funktionselemente auf kleinstem Raum integriert sind. Autorenportrait Dr. Thomas Zetterer ist wissenschaftlicher Abteilungsleiter am Institut für Mikrotechnik in Mainz. Prof. Dr. Friedemann Völklein lehrt an der FH Wiesbaden.
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