Vakuumbeschichtung. Band 2: Verfahren und Anlagen (VDI-Buch)

von Gerard Kienel Kategorie: Drucklufttechnik & Vakuumstechnik ISBN: 3540622667 Kommentar abgeben

Kurzbeschreibung Das Buch behandelt folgende Schwerpunkte:Das Aufdampfen im Hochvakuum Das Ionenplattieren Die Kathodenzerstäubung Teilchengestützte Verfahren Die Erzeugung von Mikrostrukturen Plasmabehandlungsverfahren und die Abscheidung aus der Gasphase (CVD) S