Mikrosystemtechnik.
Kurzbeschreibung Bei der Fertigung von Mikrosystemen kommen Mikrotechniken sowie hochentwickelte Verfahren der Aufbau- und Verbindungstechnik zum Einsatz. Der Autor geht sowohl auf On-chip-Systeme als auch auf hybride Systemlösungen ein. Weiter Aspekte sind u.a. - Anwendungsgebiete von Mikrosystemen - Mikrotechnologien - Werkstoffe für die Mikrosystemtechnik - Mikrosensoren und Mikroaktoren - Energieversorgung von Mikrosystemen - Entwurf und Simulation von Mikrosystemen - Ausgewählte Signalverarbeitungsverfahren für die Mikrosystemtechnik
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