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NachrichtenLexikonProtokolleBücherForenSonntag, 19. Mai 2013 

Möglichkeiten und Grenzen der Silizium-Planartechnologie zur Herstellung mikromechanischer Sensoren und deren Verkapselung


von Lüder Elbrecht

Kategorie: Mikromechanische Sensoren
ISBN: 3826543033

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