Mikrosystemtechnik

	Angewandte Mikrotechnik. LIGA - Laser - Feinwerktechnik. von Rainer Brück		Werkstoffwoche '98, Bd.1, Symposium 1: Werkstoffe für die Informationstechnik. Symposium 12: Mikrosystemtechnik von Karl Kempter
	Handbuch Mikrotechnik. von Wolfgang Ehrfeld		Mikrosystemtechnik. Konzepte und Anwendungen. von Ulrich Mescheder
	Mikrosystemtechnik für Ingenieure. von Wolfgang Menz		Mikrosysteme. von Lienhard Pagel
	Einführung in die Mikrosystemtechnik. Grundlagen und Praxisbeispiele. von Friedemann Völklein		Adaptronics and Smart Structures. Basics, Materials, Design, and Applications von H. Janocha
	Microsystem Technology in Chemistry and Life Sciences (Springer Desktop Editions in Chemistry) von Andreas Manz		Mikrosystementwurf. Entwurf und Simulation von Mikrosystemen von Manfred Kasper
	Mikrosystemtechnik - Wann kommt der Marktdurchbruch?. Miniaturisierungsstrategien im Technologiewettbewerb zwischen USA, Japan und Deutschland (Technik, Wirtschaft und Politik. Schriftenreihe des Fraunhofer-Instituts für Systemtechnik und I von Rainer Bierhals		Mikrosystemtechnik. von M. Plötner
	Moderne Produktionsprozesse der Elektrotechnik / Elektronik und Mikrosystemtechnik. Entwurf, Optimierung, Technologietransfer. von Hans Eigler		Mikrosystemtechnik. Grundlagen Praxis Trends von Guido Tschulena
	Synthese von Makromodellen für Informationsverarbeitungssysteme der Mikrosystemtechnik von Martin Heine		Beitrag zur Entwicklung strukturierbarer Gläser für die Mikrosystemtechnik von Berit Straube
	Einsatz der Lasertechnik in der Mikrosystemtechnik am Beispiel der Metallisierung durch UV-laserinduzierte Prozesse von H. Frerichs		Mikrosystemtechnische Vibrationssensoren zur automatisierten Zustandsüberwachung von Drehwerkzeugen von Jochen Thomas
	Werkstoffe der Mikrosystemtechnik Fachtagung 30. September /1. Oktober 1999 von Alex Dommann		Kontaminationen in der Feinstrukturierung von Jan Albers