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Interferenzmessung an dünnen Schichten
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bastiz
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Anmeldungsdatum: 27.06.2006
Beiträge: 1

BeitragVerfasst am: 27 Jun 2006 - 09:09:44    Titel: Interferenzmessung an dünnen Schichten

Hallo,

ich bin an einer Messung der Dicke einer dünnen Schicht (nm Bereich). Die Schicht wird mit einer Deuterium-Halogen Lichtquelle im Spektralbereich von 200nm - 1100nm bestrahlt. Zwischen ein- und ausfallendem Lichtstrahl ergibt sich aufgrund der Schichtdicke ein Laufzeitunterschied, wodurch es zu destruktiven und konstruktiven Interfrenzen kommt und eine Sinusähnliche Kurve entsteht. Die Reflexion wird mit Hilfe eines Detektors gemessen. Es ergab sich abhängig von der Schichtdicke verschiedene Reflexionsmuster.

Nun zu meinen Fragen:
1. Warum ist die Frequenz der Reflexionskurve bei niedrigeren Wellenlängen höher?

2. Warum wird die Frequenz der Reflexionskurve mit zunehmender Schichtdicke insgesamt größer?

3. Warum werden niedrigere Wellenlängen stärker reflektiert als höhere? Die Kurve beschreibt einen fallenden Verlauf des Reflexionsgrad mit der Wellenlänge.

4. Warum sind kurze Wellenlängen besser geeignet, die Dicke sehr dünner Schichten auszumessen. Vermutung: Erhöhung der Abtastrate und damit der Auflösung-> genauere Messung.

Viele Grüße

basti
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