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Workshop zu Technologien und Werkstoffen der Mikrosystem- und Nanotechnik

08.12.2009 - (idw) VDE Verband der Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik e.V.

CALL FOR PAPERS

Die Mikrosystemtechnik ist wichtige Schlüsseltechnologie in Bereichen wie der Informations- und Kommunikationstechnik, Medizintechnik, Biotechnologie und Automobilindustrie. Die VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik veranstaltet am 10. und 11. Mai 2010 in Darmstadt einen Workshop zu Materialien und Technologien der Mikrosystemtechnik. Auf der Materialbasis Silizium haben sich verschiedene Technologien wie Oberflächen-Mikromechanik, Tieftrockenätzen, poröses Silizium oder Waferbondverfahren entwickelt. Diese und weitere Verfahren stehen im Mittelpunkt des Workshops, zu dem Interessierte bis 15. Januar 2010 Fachbeiträge zu folgenden Themen einreichen können:

3D-Strukturierung von Mikrosystemen (high aspect ratio)
- Tiefenlithographie
- Abformtechniken
- Silizium-Tieftrockenätzen (DRIE)
- Oberflächen-Mikromechanik, poröses Silizium

Polymere Werkstoffe für MST und deren Verarbeitung

Drucktechniken für Mikrosysteme

Mikroformgebungsverfahren, z.B.
- Spritzgießen, Heißprägen u.a. für verschiedene Materialsysteme
- Nanoimprint-Verfahren

Aufbau- und Verbindungstechnik für Mikrosysteme
- Waferbondverfahren für 3D-Mikrosysteme
- Niedertemperatur-Fügeverfahren

Integration von Funktionsmaterialien, wie z.B.
- XMR-Materialien und -Technologien
- Thermoelektrika
- Piezoelektrika
- Dielektrika, Ferroelektrika
- Formgedächtnislegierungen/-polymere
- Nanomaterialien
- Mikrostrukturierbare Kompositmaterialien (u.a. Mikrooptik)

Informationen unter www.vde.com und www.TuW2010.de

Pressekontakt: Melanie Mora, Telefon: 069 6308-461, melanie.mora@vde.com

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