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Fertigungstechniken auf kleinstem Raum

18.11.1997 - (idw) DaimlerChrysler AG

Fertigungstechniken auf kleinstem Raum Mechanik im Lande Lilliput Klein, flach, stark - planare Millimeterwellenschaltung

Stuttgart, im November 1997 - Gulliver wuerde wahrscheinlich nicht einmal die Vertiefung als solche erkennen, den Einwohnern von Lilliput muesste sie dagegen wie ein riesiger Krater erscheinen. Tatsaechlich hat diese Oeffnung einen Durchmesser von nur 0,2 Millimeter. Sie befindet sich in einer Siliziumscheibe von weniger als einem Millimeter Dicke, dem zentralen Element eines neuartigen Radarchips der Daimler-Benz-Forschung in Ulm.

Mikromechanische Fertigungstechniken erlauben es den Wissenschaftlern, diese Vertiefung immer wieder mit einer sehr hohen Genauigkeit herzustellen. Mit mehrstufigen Beschichtungs- und Aetzprozessen, in Anlehnung an Techniken aus der Photolithographie, entsteht sie nur dort, wo sie gewuenscht ist. Eine bei hohen Temperaturen auf dem Silizium gewachsene Oxidschicht schuetzt dabei alle Teile der Scheibe, die keine Vertiefung erhalten sollen. Durch dieses Verfahren liegen strukturelle Abweichungen lediglich im Bereich von wenigen Tausendsteln Millimeter.

Die mit dieser Technik aufgebauten planaren Millimeterwellenschaltungen zeichnen sich nach Aussagen der Wissenschaftler vor allem durch hohe Zuverlaessigkeit und sehr gute elektrische Eigenschaften aus. Und das bei geringem Platzbedarf und niedrigen Herstellungskosten. Eine moegliche Anwendung koennte der Radarchip in zukuenftigen, vorausschauenden Sicherheitssystemen im Auto finden.

Bildunterschrift:

Die Vertiefung in der mikromechanisch strukturierten Siliziumscheibe birgt eine Diode als aktives Element des neuartigen Radarchips der Daimler-Benz-Forschung. Den Kontakt zwischen Diode und Siliziumscheibe stellt der propellerfoermige Goldkontakt her. Der im Hintergrund sichtbare, viereckige Kupfertraeger dient gleichzeitig als Waermesenke.

Info: Daimler-Benz AG, Presse Forschung und Technik (K/U) Dr. Karen Stein Tel.: (0711) 17- 93039, Fax: -94365 e-Mail: 100106.566@compuserve.com Bild und Text: http://www.daimler-benz.com/presse/foto.htm (oder auf Anfrage per Post)

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