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10 winzige Staubkörner auf 30 Liter Luft

24.07.1996 - (idw) Technische Universität Chemnitz

Bald geht's rein in die neuen Reinraeume

Nur zehn winzige Staubkoerner auf 30 Litern Luft im Chemnitzer Unilabor

(CHEMNITZ). Am 15. August 1996 erleben die Mikroelektroniker der Chemnitzer Universitaet eine zweite "Geburt": Im Universitaetsteil Reichenhainer Strasse wird das sanierte Forschungszentrum fuer Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik eroeffnet. Zehn Millionen Mark liess sich der Freistaat die Modernisierung der Chemnitzer "High-Tech-Schmiede" kosten, denn bis zum Jahr 2000 wird sich der Weltmarkt fuer Mikroelektronik mehr als verdoppeln. Experten erwarten ein Umsatz-Volumen von 350 Milliarden Dollar. Und bei der Chip-Produktion wollen die Sachsen auch weiterhin ein Woertchen mitreden.

Siemens will seinen Chip-Anteil von zwei Prozent auf 3,5 Prozent erhoehen und investiert nicht nur deshalb auch 2,7 Milliarden Mark in Dresden. Gerade in der jetzigen Zeit, wo junge Diplomingenieure fuer die Mikroelektronikfabriken von Siemens und AMD in Dresden gesucht werden, soll in Chemnitz ein solider Grundstein fuer die kuenftige High Tech-Ausbildung auf den Gebieten Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik gelegt werden. Aber fuer die Chip-Produktion ist neben der Ausbildung natuerlich auch eine spitzenmaessige For-schung notwendig.

Die Chemnitzer Mikroelektroniker forschen seit ueber 18 Jahren auf diesem Hochtechnologiegebiet. Wenn Labors so lange betrieben werden, ist eine gruendliche Modernisierung der Klima- und Labortechnik der vorhandenen Laboratorien und Reinraeume dringend notwendig, meint der Leiter des Forschungszentrums Prof. Dr. Thomas Gessner. In den neuen Raeumen herrscht nun die Reinraumklasse 10: Pro Kubikfuss Luft (etwa 30 Liter) befinden sich nicht mehr als zehn Staubkoerner. Hier ist es tausendmal reiner als in einem Operationssaal und Millionen mal sauberer als in der Chemnitzer Aussenluft, versichert Gessner. Dabei duerfen die Partikel nicht groesser sein als 0,5 Tausendstel Millimeter - das entspricht etwa dem Groessenverhaeltnis eines Stecknadelkopfes zu einem Fussballfeld. Diese Reinheit entspringt jedoch nicht dem Hygienefimmel von Umweltfanatikern, sondern ist Grundvoraussetzung fuer die Forschung im Labor.

In der Vergangenheit verliessen bereits Beschleunigungssensoren fuer hochmoderne Navigationssysteme fuer die Luft- und Raumfahrt die Chemnitzer Reinraeume. Auch bei der Entwicklung von Mikrospiegeln zur Ablenkung von Laserlicht wirken die TU-Forscher mit. Gemeinsam mit der Siemens AG werden derzeit neue Leitbahnsysteme fuer hoechstintegrierte Schaltkreise erkundet.

Seit Januar diesen Jahres wird in Chemnitz die Mikrosystemtechnik durch den Sonderforschungsbereich "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays" der Deutschen Forschungsgemeinschaft vorangetrieben.

Am 15. August werden gleich zwei saechsische Minister an der Chemnitzer Uni den Startschuss fuer die Forschung in den modernisierten Raeumen geben: Prof. Dr. Hans Joachim Meyer, Staatsminister fuer Wissenschaft und Kunst, und Prof. Dr. Georg Milbradt, Staatsminister fuer Finanzen.

Weitere Informationen erteilt Prof. Dr. Thomas Gessner, Telefon 03 71/5 31-31 30.

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