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Erste internationale Halbleiter-Konferenz in Deutschland erfolgreich etabliert

24.11.1999 - (idw) Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA

Rund 140 internationale Teilnehmer hatten sich Anfang November zur ersten Fachtagung ªReinstmedien´ in Dresden eingefunden. Die vom Industrieverbund ªJoint Media´ ausgerichtete Konferenz war so erfolgreich, daß sie nächstes Jahr wieder stattfinden soll.

Um internationale Trends, Standards und Entwicklungen auf dem Reinstmediensektor ging es am 2. und 3. November 1999 in Dresden. Rund 140 Teilnehmer aus Schweden, Belgien, Frankreich, Österreich, Deutschland, der Schweiz sowie aus den USA und den Niederlanden trafen sich auf der bislang ersten und einzigen internationalen Konferenz zum Thema Reinstmedien in der Halbleiterherstellung in Deutschland. Zulieferer, Planer, Wissenschaftler und Anwender aus der Halbleiterindustrie diskutierten auf der Fachtagung ªReine und hochreine Medien´ (Technical Conference Ultra-Pure Media) aktuelle und künftige technologische Entwicklungen in der hochreinen Siliziumchipproduktion, Anforderungen an Materialien sowie mögliche Auswirkungen auf Design und Betrieb entsprechender Anlagen.
Ein besonderer Schwerpunkt der Konferenz war die Qualitätskette für Reinstmedien bis zum Point of use: Schnittstellen, Randbedingungen und Betriebsmittel. Dabei wurden insbesondere aktuelle und im Bestehen begriffene Normen, Richtlinien und Spezifikationen sowie allgemeine und technologische Trends mit Blick auf die weltweite Marktentwicklung betrachtet. ªIn Zukunft müssen neben spezifischen Qualitätsaspekten vor allem auch Maßnahmen zur Kostensenkung gemeinsam und zielstrebig in Angriff genommen werden´, fordert Christian Ernst vom Fraunhofer IPA. Trotz neuer Entwicklungen in der Siliziumtechnologie was Materialien, Prozesse, Struktur- und Substratgrößen angeht, ist in Zukunft nicht ausschließlich höchste, sondern vor allem angemessene, preiswertere Qualität gefragt. Hierzu gilt es, die betreffenden Zusammenhänge und Ansatzpunkte herauszuarbeiten, zu kommunizieren und umzusetzen. Eine flankierende Maßnahme von zunehmender Bedeutung ist die Einführung, Anwendung und Förderung internationaler Standards seitens aller Beteiligten. Ernst gehört zu den Wissenschaftlern des Stuttgarter Fraunhofer-Instituts, die den Industrieverbund ªJoint Media´ inhaltlich und organisatorisch koordinieren.
Die ªInitiative Reinstmedien/Joint Media´ mit rund zwei Dutzend Mitgliedsfirmen aus der Halbleiterbranche ist sowohl Initiator als auch Veranstalter der Dresdner Konferenz, die nach ihrem großen Erfolg nächstes Jahr wieder stattfinden soll. Eines der Hauptanliegen des Industrieverbunds ist es, die Durchgängigkeit der Qualitäts- und Versorgungskette in der Reinstmedienherstellung, -anwendung, -versorgung und -entsorgung zu verbessern und den Know-how- und Informationsaustausch zu fördern. Weitere Schwerpunkte innerhalb der Initiative befassen sich mit dem ªE-Commerce´ und der Qualifizierung von Medien, der Medienversorgung, -entsorgung sowie den dabei verwendeten Materialien, Komponenten und Systemen. Die Internet-Homepage des Industrieverbunds dient mittlerweile als effizientes Mittel zur Kommunikation und Informationsbeschaffung und zunehmend auch als Marketingplattform.
Die Gründung von ªJoint Media´ Ende 1996 war die logische Konsequenz aus den positiven Erfahrungen verschiedener Teilnehmerfirmen mit vorangegangenen Verbundprojekten sowie dem Auslaufen des umfangreichen europäischen Förderprogramms JESSI (Joint European Semiconductor Silicon). Die Initiative finanziert sich aus Beiträgen seiner Industriepartner. Budget und Aufgabenstellungen einer Jahresphase stimmen die Mitglieder jeweils gemeinsam im voraus ab. Neben der zweiten Fachtagung ªReinstmedien´ steht 2000 der Ausbau der Zusammenarbeit mit nationalen und internationalen Standardisierungsgremien auf dem Programm des Konsortiums. Außerdem ist die Mitwirkung an weiteren Veranstaltungen in der Branche geplant. Fester Bestandteil der regelmäßigen Treffen des Konsortiums werden auch im kommenden Jahr Beiträge und fachliche Diskussionen mit internen und externen Spezialisten sein.
An einer Zusammenarbeit interessierte Unternehmen können sich ªJoint Media´ jederzeit anschließen. Mehr Informationen gibt es unter http://jointmedia.ipa.fhg.de.


Ihre Ansprechpartner für weitere Informationen:
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung
Dr.-Ing. Johann Dorner, Telefon 0711/970-1251, Telefax 0711/970-1007, e-mail jod@ipa.fhg.de
Dipl.-Ing. Christian Ernst, Telefon 0711/970-1248, Telefax 0711/970-1007, e-mail che@ipa.fhg.de
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