Modulare Drucksensorchips

Differenzdruckmessung oder pneumatische Messaufgaben sind für die kunden- und anwendungsspezifischen Drucksensorchips vom CiS Institut für Mikrosensorik kein Problem.

Drucksensoren in verschiedenen Aufbauvarianten Si-Drucksensorik für Relativ- und Absolutdruckmessung von 10 mbar bis ca. 15 bar wurde in verschiedenen anwendungsspezifischen Aufbauvarianten entwickelt. Die Drucksensorchips werden wahlweise mit oder ohne Glasträger in Gehäuse wie TO-38, auf LTCC- oder Al2O3- Keramik montiert. Der Einsatz chemisch inerter, langzeitstabiler Fügehilfsstoffe ermöglicht u.a. Anwendungen in der Chemie und Pharmazie. Zur kostengünstigen Fertigung stehen eine 4"-Waferlinie, die entsprechenden Prozessschritte der Aufbau- und Verbindungstechnik sowie spezifische Mess- und Kalibriertechnik zur Verfügung.

Weitere Informationen: electronica 2004 Halle A3/226
Frau Dipl.-Phys. E.Butenuth; Email: ebutenuth@cismst.de

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