ZHO: Neues Hightech-Zentrum für Halbleitertechnik und Optoelektronik

22.03.1999 - (idw) Gerhard-Mercator-Universität Duisburg (bis 31.12.2002)

Das neue Hightech-Zentrum der Mercator-Universität Duisburg, das Zentrum für Halbleitertechnik und Optoelektronik ZHO, wird am kommenden Donnerstag, 25. März, durch Staatssekretär Dr. Wolfgang Lieb aus dem Ministerium für Schule und Weiterbildung, Wissenschaft und Forschung eingeweiht. Der Festakt wird live im Internet übertragen.

Das ZHO besteht aus zwei L-förmig angeordneten, dreigeschossigen Gebäudekomplexen, in denen 1.630 qm Labor- und Büroflächen untergebracht sind. Genutzt werden sie künftig von den Uni-Fachgebieten Halbleitertechnik und Optoelektronik. Beide Hightech-Abteilungen arbeiten an modernsten Halbleitermaterialien für winzige elektronische Bauelemente und ultraschnelle Schaltungen. Sie werden beipielsweise in der Kommunikationstechnik eingesetzt, bei der die Daten optisch und per Funk übertragen werden.

Das ZHO besitzt einen bautechnisch strikt getrennten 470 qm großen staubfreien "Reinraumbereich", der stündlich von etwa 232.000 m³ speziell gefilterter Umluft durchströmt wird. Sämtliche Anlagen im ZHO werden hundertprozentig emissionsfrei geführt. Diese besonders aufwendige Gebäudetechnik ist notwendig, um schnellste Schaltungen von Grund auf in einer zusammenhängenden Technologiekette entwickeln und herstellen zu können.


Presse-Vorabbesichtigung - Film- und Fototermin

Liebe Redaktion,

zur Pressevorabbesichtigung laden wir Sie und Ihre Fotografen herzlich in das neue Hightech-Zentrum ZHO ein am

Mittwoch, 24.3.1999, 11 Uhr
Uni-Bereich Lotharstr. 55, Gebäude LT (ZHO), Raum 227, Einchecken zur Besichtigung des Reinraum- und
Laborbereichs mit Film- und Fotografiermöglichkeiten

Ihre Gesprächspartner sind:

- Rektor Prof. Dr.-Ing. Ingo Wolff
- Dekan Prof. Dr. Dieter Jäger, Optoelektronik
- Prof. Dr. Franz-Josef Tegude, Halbleitertechnik

Mit freundlichen Grüßen

Beate H. Kostka
- Pressestelle -

Forschungsschwerpunkte und Anwendungen

- Elektronische und optoelektronische Bauelemente
- Entwicklung und Herstellung von Schaltungen
- Faser-Funk-Systeme
- Mikrowellen-Photonik
- Kommunikations- und Multimediatechnik
- Optische Sensortechnik
- Medizintechnik
- Intelligentes Auto


Technologieausstattung des ZHO im Überblick

Epitaxiesysteme zur Herstellung von Halbleitern in Atomlagenstärke
- Metall-Organische Gasphasenepitaxie (MOVPE)
- Molekularstrahlepitaxie (MBE)

Lithographieverfahren
- Elektronenstrahl-Lithographie: unter 0,1 Mikrometer
(1 Mikrometer = 1 tausendstel Millimeter)
- Optische Kontakt-Lithographie: etwa 0,5 Mikrometer
- Scanning-Laser-Lithographie: etwa 0,8 Mikrometer

Ätztechniken:
- Reaktives Ionenätzen (RIE)
- Sauerstoffplasma zur Reinigung
- Naßtechnische Ätztechnik

Beschichtungstechniken (u.a.):
- Metallisierungsanlagen
- Chemische Gasphasenabscheidung (CVD)
- Galvanisierungsbäder

Qualitätskontrolle:
- Hellfeld-/Dunkelfeld-Lichtmikroskopie
- Rasterelektronenmikroskopie (REM)
- Röntgendiffraktometrie
- Photolumineszenz

Materialbearbeitung (u.a.):
- Poliermaschinen
- Wafer-Säge

Aufbau- und Verbindungstechnik (u.a.):
- Glasfaserbearbeitung
- Herstellung von Faserlinsen

Meßtechniken zur Charakterisierung von elektronischen und
optoelektronischen Bauelementen, Schaltungen und Systemen

Einweihung des ZHO
Donnerstag, 25. März
Uni-Bereich Mülheimer Str./Ecke Lotharstr., Hörsaal MD 162

Programm

9.00 - 11.00 Uhr: Festakt

Begrüßung: - Rektor Prof. Dr.-Ing. Ingo Wolff
- Dekan Prof. Dr. Dieter Jäger

Grußworte: - Oberbürgermeisterin Bärbel Zieling
- Staatssekretär Dr. Wolfgang Lieb

Vortrag: ZHO: Woher - Wohin?
- Prof. Dr. Franz-Josef Tegude
- Prof. Dr. Dieter Jäger

anschließend: Führungen durch das ZHO
(Gebäude LT) mit Posterschau und
Exponaten aus der Industrie.

14.00 - 17.00 Uhr: Festkolloquium
Thema: Mikrowellenelektronik und Photonik
- Stand und Trends
Hörsaal MD 162

- III-V-Halbleiter - Faszinierende Materialien für viele Märkte

- Mikrowellenelektronik - Technik und Marktszenarien

- Photonische Netze - Datenautobahnen für jedermann

- Breitband-Faser-Funksysteme - Drahtlose Kommunikation
der Zukunft

anschließend: Führungen durch das ZHO
(Gebäude LT) mit Posterschau und
Exponaten aus der Industrie.


Tag der Offenen Tür
Freitag, 26. März, 10 - 16 Uhr

Wer sich für das neue Hightech-Labor an der Mercator-Universität Duisburg interessiert, sollte sich am kommenden Freitag, 26. März, Zeit nehmen. Zwischen 10 und 16 Uhr gibt es zu jeder vollen Stunde Laborführungen, Demonstrationen und Informationsgespräche.
Interessierte sind herzlich eingeladen.